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洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。
洁净厂房的竣工验收合格,并经核实批准后,按要求进行功能验收,功能验收是在“静态”进行测试,其主要测试内容如下:
1.检测空气洁净度等级;
2.生产工艺有要求者,还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
3.洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;
4.检测自净时间;
5.检测洁净室(区)的密闭性测试;
6.测定照度;
7.测定噪声级;
8.需要时,确认和记录气流形式和换气次数;
9.其他需要进行的其他检测项目。